潔凈實(shí)驗(yàn)室是一個(gè)全密閉的環(huán)境，通過空調(diào)送、回風(fēng)系統(tǒng)的初、中、高效過濾器，使室內(nèi)環(huán)境空氣不斷循環(huán)過濾，以保證空氣懸浮粒子受控到一定濃度。潔凈實(shí)驗(yàn)室最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中檢測、科研。所以潔凈實(shí)驗(yàn)室通常也叫超凈實(shí)驗(yàn)室，潔凈實(shí)驗(yàn)室，凈化實(shí)驗(yàn)室等。

1、實(shí)驗(yàn)室凈化系統(tǒng)描述：

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→ 回風(fēng)百葉窗→初效凈化….（重復(fù)以上過程）

2、潔凈實(shí)驗(yàn)室的氣流形式：

（1）單向流潔凈區(qū)（水平、垂直流向）；

（2）非單向流潔凈區(qū)；

（3）混合流潔凈區(qū)；

（4）環(huán)形/隔離裝置。

混合流潔凈區(qū)是ISO國際標(biāo)準(zhǔn)提出的，即把實(shí)際早已存在的非單向流潔凈室設(shè)置了局部的單向流的潔凈工作臺(tái)/層流罩對關(guān)鍵部位進(jìn)行“點(diǎn)”或“線”的保護(hù)，以減少單向流潔凈區(qū)的面積。

1、除去空氣中漂游之微塵粒子；

2、防止微塵粒子之產(chǎn)生；

3、控制溫度和濕度；

4、調(diào)節(jié)氣體壓力；

5、排除有害氣體；

6、確保結(jié)構(gòu)物與隔間氣密性；

7、防止靜電；

8、預(yù)防電磁干擾；

9、安全因素；

10、考慮節(jié)能

三

1、 直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)

（1）直流式系統(tǒng)就是不用回風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，也就是直送直排系統(tǒng)，其能耗很大。

（2）這種系統(tǒng)一般適用于有致敏性的生產(chǎn)工藝（如青霉素分裝工藝）、實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房、生物安全潔凈室以及可能形成交叉污染生產(chǎn)工藝的實(shí)驗(yàn)室。

（3）采用這種系統(tǒng)時(shí)應(yīng)充分考慮余熱的回收。

2、 全循環(huán)式凈化空調(diào)系統(tǒng)

（1）全循環(huán)式系統(tǒng)即無新風(fēng)供給，也無排風(fēng)的系統(tǒng)。

（2）這種系統(tǒng)無新風(fēng)負(fù)荷，很節(jié)能，但室內(nèi)空氣品質(zhì)差，壓差不好控制。

（3）一般適用于無人操作、值守的潔凈室。

3、 部分循環(huán)式凈化空調(diào)系統(tǒng)

（1）這是用得最多的系統(tǒng)形式，也就是有部分回風(fēng)參與循環(huán)的系統(tǒng)。

（2）在該系統(tǒng)中，新風(fēng)和回風(fēng)混合經(jīng)處理送到無塵潔凈室內(nèi)，回風(fēng)的一部分用于系統(tǒng)循環(huán)，另一部分被排走。

（3）該系統(tǒng)壓差易于控制，室內(nèi)品質(zhì)較好，能耗介于直流式系統(tǒng)與全循環(huán)式系統(tǒng)之間。

（4）適用于允許采用回風(fēng)的生產(chǎn)工藝。